【作者】 陈庆贵； 史日华； 邬华； 詹千宝；
【机构】 中科院上海冶金所； 中科院上海冶金所；
【摘要】 <正> 在蓝宝石（α-Al2O3）衬底上异质外延生长硅单晶膜（简称SOS）,在集成电路上有着重要的应用。然而,这种SOS材料在敏感器件方面也有着广泛的应用。苏、美相继于七十年代末研制出蓝宝石晶体压力传感器,并有商品更多还原
