【作者】 张英兰； 刘宝成； 戴国瑞；
【机构】 长春物理研究所； 吉林大学电子科学系；
【摘要】 本文报导采用气相色谱变温浓缩取样的方法,分析了高纯氢中的微量氧.其测量灵敏度可达O.1ppm数量级.并在实际应用中证明,这种分析方法比较简单,重复性好,对改进监测半导体材料的制备会起到有益的作用.更多还原
