【作者】 李思渊； 张旗； 王毓珍； 宣建功；
【机构】 兰州大学物理系； 兰州大学物理系；
【摘要】 本文全面地研究了微细铝条等离子刻蚀的有关问题.从实验上给出了刻蚀的各向异性、均匀性以及刻蚀速率等基本参数与设备、工艺和物理因素的关系.成功地刻出了线度为1.5～2μm、厚度1.5μm的微细铝条.更多还原
