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小电流晶闸管台面钝化工艺的改进

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【作者】 王中寰； 张银生；

【机构】 湘潭大学物理系； 湘潭大学物理系；

【摘要】 本文简述了小电流晶闸管台面钝化工艺的改进和实验结果.

【关键词】 小电流； 晶闸管； 钝化工艺； 钝化液； 甲基三氯硅烷； 开关三极管； 管芯； 官能单体； 反向漏电流； 有机基团；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1987年02期
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