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真空蒸镀铝膜厚度分布的研究

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【作者】 韩耀文；

【机构】 中国科学院沈阳金属研究所；

【关键词】 真空蒸镀； 厚度分布； 透过率； 膜厚度； 厚度均匀性； 铝膜； 基板； 真空蒸发； 轻纺工业； 生产效率；
  • 【文献出处】 真空 ,Vacuum , 编辑部邮箱 ,1986年03期
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