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用刀刃技术测SAW速度

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【作者】 干昌明；

【机构】 南京大学声学研究所；

【摘要】 本文介绍了一种激光探针(刀刃技术)测SAW速度的方法.用这种方法测量了s切一x传播石英晶片的自由表面SAA速度及金属化表面SAw速度。速度值的准确度优于1‰,精密度约为0.4‰。

【关键词】 SAW； 激光探针； 金属化； 切一； 表面声波； 光电接收器； 测量显微镜； 移动装置； 实验条件； 相速；
  • 【文献出处】 应用声学 ,Applied Acoustics , 编辑部邮箱 ,1986年03期
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