【作者】 徐国琴； 张静芬； 华新德； 王戎兴；
【机构】 中国科学院上海技术物理研究所； 中国科学院上海技术物理研究所；
【摘要】 <正> 本实验使用真空加热烘烤来脱附表面残气,在不影响器件性能的前提下,即在器件能经受的热负载条件下,尽量提高烘烤温度,最大限度地脱附真空层内吸附的残气,同时应用四极质谱系统记录相应的谱图,以分析杜瓦瓶在加热烘烤时脱附的残气。更多还原
