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电子微束分析在电子元件中的应用
【摘要】 <正> 电子微束分析已被广泛地应用于国内许多领域的科研工作之中。并取得令人嘱目的成效。相比之下,它在品种繁多的电子元件领域的应用尚不广泛,且未形成具有专业特色的测试技术。二年来,我所电镜室向各地龟子元件工厂直接开放,针对生产线上实际课题,作了下述四方面工作,取得良好效果。一、电子元件失效分析
- 【文献出处】 电子显微学报 ,Journal of Chinese Electron Microscopy Society , 编辑部邮箱 ,1986年03期
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