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微离子束技术及其在微细加工中的应用

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【作者】华明达；

【机构】北京师范大学低能核物理研究所；

【关键词】离子束技术；微细加工；离子源；场电离；场发射；金属原子；液态金属；离子显微镜；离子束掺杂；抗蚀；

【文献出处】物理 ,Physics , 编辑部邮箱 ,1985年01期
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