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电子束曝光机工作台的结构分析

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【作者】 周振华；

【机构】 山东工业大学电子束室；

【摘要】 <正> 微细加工技术是微电子工业的基础。电子束曝光技术的发展使微细加工技术跨入新时代,现将国外有代表性的几家主要公司电子束曝光机工作台的结构分析如下。

【关键词】 微细加工技术； 结构分析； 尺寸链； 误差影响； 真空箱； 激光干涉仪； 直线度； 脉冲当量； 激光测量系统； 台板；
  • 【文献出处】 电子工艺技术 ,Electronics Process Technology , 编辑部邮箱 ,1985年12期
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