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Au-GaAs、NiG-GaAs可见光接收器

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【作者】 周洪臣； 孟祥春； 周桂兰； 田英； 刘岩春；

【机构】 吉林大学电子科学系； 吉林大学电子科学系；

【摘要】 本文介绍一种用化学沉积法制备Au-GaAs和Ni-GaAs接收器的方法.给出了最佳参数的工艺条件.对光谱持性做了测量.实验同理论符合的很好.

【关键词】 光接收器； Au-GaAs； NiG-GaAs； 化学沉积法； 工艺条件； 最佳参数； 薄膜器件； 最佳厚度； 伏安特性曲线； 下电极；
  • 【文献出处】 半导体技术 ,Semiconductor Technology , 编辑部邮箱 ,1985年01期
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