【作者】 孔梅影； 孙殿照； 黄运衡； 梁基本； 陈宗圭； 李歧旺；
【机构】 中国科学院半导体研究； 中国科学院半导体研究；
【摘要】 本文主要介绍我们在自己研制的分子束外延(MBE)设备上进行的GaAs单晶薄膜的生长研究。这个工作从1980年开始,在不断改进分子束外延设备和外延生长条件的基础上,使MBEGaAs的性能有了大幅度的提高。更多还原
