【作者】 罗志华; 虞君耐; 冯骏; 薛汉臣; 蔡熔;
【机构】 上海冶炼厂; 上海冶炼厂;
【摘要】 <正> 随着硅器件性能的不断提高,尤其在硅平面工艺出现之后,硅器件已经在很大应用领域内取代了锗器件。目前,锗被取代的趋势仍在继续。为了充分利用我国丰富的锗资源,发扬锗器件在高频性能和作音响器件等更多还原