【作者】 王季陶； 张世理； 王焕杰； 连美华；
【机构】 复旦大学； 复旦大学；
【摘要】 <正> 低压化学蒸汽淀积(LPCVD)薄膜技术发展很快,在集成电路、太阳能电池研制中占有重要地位,本文在一维LPCVD计算机模拟的基础上,进一步提出了三维模拟算式,以便更多还原
