【作者】 徐道林；
【机构】 长沙半导体工艺设备研究所；
【摘要】 <正> 一、前言新型中能离子注入机(LC—2A 型)的离子光学系统属先分析后加速方式,如图1所示。分析器处于高电位[1],在较低的能量上进行质量分析,再把分析出的离子束加速到最终能量。这样,既缩小了分析器的尺寸和减轻了它的重量,又降低了X 射线的辐射。更多还原
