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新实验技术在材料研究中的应用讲座 第十六讲 半导体晶体缺陷显微镜研究中的若干方法
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【作者】
高维滨
;
【机构】
中国科学院半导体研究所
;
【关键词】
半导体晶体
;
晶体缺陷
;
显微镜研究
;
实验技术
;
缀饰
;
金相
;
蚀坑
;
金刚石结构
;
衬度
;
二维投影
;
【文献出处】
物理
,
Physics
,
编辑部邮箱
,
1984年07期
【被引频次】1
【下载频次】87
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