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用于重复频率准分子激光器的火花隙开关

A spark gap switch for repetitive excimer lasers

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【作者】 江英英； 唐士清；

【Author】 Jiang Yingying, Tang Shiqing (Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Academia Sinica)

【机构】 中国科学院上海光机所； 中国科学院上海光机所；

【摘要】 研制了工作在60千伏,重复频率每秒50次的火花隙开关,在静态气压下,重复率每秒20次,正常工作寿命可达20分钟。

【Abstract】 A spark gap switch operating at 60 kV and 50 pps has been developed. At steady-state gas fill and 20 pps, it has a lifetime of about 20 min.

【关键词】 准分子激光器； 重复频率； 开关工作； 重复率； 工作寿命； 极间距； 开关结构； 触发极； 输出功率； 开关时间；
  • 【文献出处】 中国激光 ,Chinese Journal of Lasers , 编辑部邮箱 ,1984年04期
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