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金属浓缩取样器的研制

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【作者】 李治昌； 李虹； 杨雪珍； 尹恩华；

【机构】 北京建中机器厂； 北京建中机器厂； 中国科学院半导体所；

【摘要】 <正> 浓缩气相色谱法是一种测定痕量气体成分的方法,可用于测定高纯电子气中的痕量杂质。例如,测定高纯H2、He中杂质灵敏度最低可到<0.01ppm。该方法过去采用的浓缩装置都是玻璃系统。玻璃取样器的缺点是易碎,过渡联接管多,易造成漏气。最近,我们经过研究,避免玻璃四通取样器的缺点,研制成金属浓缩取样器。本装置可用于H2中痕

【关键词】 取样器； 玻璃系统； 痕量气体； 杂质分析； 电子气； 换向阀； 气相色谱法； 平均偏差； 被测系统； 贴合面；
  • 【文献出处】 低温与特气 ,Low Temperature and Specialty Gases , 编辑部邮箱 ,1984年01期
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