【作者】 江任荣； 陈树光； 叶贤京； 莫党；
【机构】 中山大学物理系； 中山大学物理系；
【摘要】 <正> 一、前言椭圆偏振光谱仪是一种研究和测定薄膜、表面及固体的光学仪器。它是通过分析光在样品上反射时偏振状态的变化进行测量的,这种测量对表面结构和表面过程非常敏感、精确度更多还原
