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用X射线衍射的驻转法测量半导体单晶片

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【作者】 林振金； 刘玉梁； 林志南； 彭梦华；

【机构】 北京师范大学物理系； 北京师范大学物理系；

【关键词】 单晶片； X射线衍射； 倒格点； 测角； 布喇格条件； 点阵常数； 倒格子； 衍射谱； 晶列； 投影点；
  • 【文献出处】 物理 ,Physics , 编辑部邮箱 ,1983年02期
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