【作者】 王矜奉； 陈子清； 曾宪楠； 胡云展； 张幼冰； 陈国光；
【机构】 山东大学物理系铁电压电教研室； 山东大学物理系铁电压电教研室；
【摘要】 本文以 Ｈｅ＋注入 ＬｉＮｂＯ３晶体表面为例，给出了表面波相违随注入离子剂量和注入离子能量的变化关系曲线，并介绍了离子束注入在声表面波器件上的一些应用。更多还原
