【作者】 钱石南； 刘瑞；
【机构】 中科院安徽光机所； 中科院安徽光机所；
【摘要】 本文介绍了采用温度补偿来保证激光器和扫描干涉仪腔长的稳定性,以提高仪器的性能和精度。同时还介绍了测量腔长的温度稳定性的两种方法——多光束干涉法和扫描干涉法。更多还原
