【作者】 孙树滋；
【机构】 东北工学院物理系；
【摘要】 本文介绍了离子注入新技术的发展概况,说明离子注入机的工作原理,综述了近年来离子注入在材料科学及工程方面的研究成果,其中也介绍了作者近期的研究工作。更多还原
