【作者】 邓延倬； 王明胜； 盛蓉生；
【机构】 武汉大学化学系； 武汉大学化学系；
【摘要】 <正> 近年来,激光化学技术在微电子学领域已成功地应用于微电镀、多晶硅或金属的激光显微沉积、半导体的激光化学掺杂等方面,充分显示了激光化学技术的有利特点。更多还原
