【作者】 徐德衍； 邹海兴；
【机构】 中科院上海光机所； 中科院上海光机所；
【摘要】 本文从检测干涉条纹的精度与质量出发,讨论了光学平板作为剪切干涉元件本身若干技术问题,其中包括平板平行度,平板表面局部误差以及两表面膜层反射率的匹配等。更多还原
