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差示光谱法测定硅中的氧和碳

Measurement of Oxygen and Carbon Content in Silicon by Ratio Spectrum

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【作者】 许振嘉； 江德生； 宋春英； 孙伯康； 刘江夏；

【Author】 Xu Zhenjia/Institute of Semiconductors, Chinese Academy of SciencesJiang Desheng/Institute of Semiconductors, Chinese Academy of SciencesSong Chunying/Institute of Semiconductors, Chinese Academy of SciencesSun Bokang/Institute of Semiconductors, Chinese Academy of SciencesLin Jiangxia/Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences

【机构】 中国科学院半导体研究所； 中国科学院半导体研究所；

【摘要】 本文提出了一种利用差示光谱测定硅中氧、碳含量的方法.对于该方法的误差进行了讨论.

【Abstract】 A method using ratio spectrum is described for measuring oxygen and carbon con-tent in Silicon.Sources of error of this method have also been discussed.

【关键词】 差示光谱法； 待测样品； 多次内反射； 双声子； 特征吸收峰； 光密度； 估算结果； 红外吸收法； 自由载流子； 傅里叶变换；
  • 【文献出处】 半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,1981年02期
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