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锆铝吸气泵的设计计算及性能试验研究

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【作者】曹成喜；王向远；黄秀英；

【机构】沈阳真空技术研究所；沈阳真空技术研究所；

【关键词】吸气量；性能试验；活性气体；涂覆层；溅射离子泵；激活温度；吸气剂；电热丝；抽气速率；折叠片；

【文献出处】真空 ,Vacuum , 编辑部邮箱 ,1980年03期
【被引频次】2
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