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CCD 及其在自动化领域中的应用

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【作者】 王维海；

【机构】 长春光学精密机械学院研究所；

【摘要】 <正> 一 前言电荷耦合器件(简称 CCD),是一种新型的半导体器件。它是一种用电荷来表示不同状态的动态移位寄存器,其电荷信息(少数载流子)的转移是以外加电压在热弛豫期间产生的表面势阱的变化而实现的。其制造工艺仍采用 MOS 半导体光刻技术,制成表面沟道或埋沟道的 CCD 器件(P 型或 N 型)。CCD 自1970年由美国贝尔电话实验室

【关键词】 半导体光刻技术； 电荷耦合器件； 表面沟道； 半导体器件； 摄象机； 图象传感器； 贝尔电话实验室； 势阱； 少数载流子； 外加电压；
  • 【文献出处】 国外自动化 , 编辑部邮箱 ,1979年05期
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