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LPE Ga1-xAlxAs中Al组分分布

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【作者】 沈耀文；

【机构】 厦门大学物理系；

【摘要】 用理想溶液模型简化计算了GaAlAs三元系在富Ga角的相图,用作图法确定降温过程中液相组分变化的沉积路程(简称DP线),分析了母液配方,外延温区和生长速率对外延层中分布的影响。

【关键词】 理想溶液； 外延层； x)Al_xAs； 模型简化； 组分分布； 温区； LPE Ga； 降温过程； 组分变化； 三元系；
  • 【文献出处】 国外发光与电光 , 编辑部邮箱 ,1979年Z1期
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