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扩散型硅压阻器件

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【作者】 陈宗圭；

【机构】 中国科学院半导体研究所；

【摘要】 <正> 半导体应变计具有极高的灵敏度而引人注目,其灵敏系数高达100—150,比金属电阻应变丝大数十倍。由于这一优点,已有各种半导体应变计的传感器(也称变送器或转换器)应用到机械参量的测量技术中,把各种力学量转换为电学量。最近十年来,随着半导体技术的发展,采用先进的集成电路技术,在一块硅片上形

【关键词】 压阻； 半导体应变计； 变送器； 电学量； 灵敏系数； 温度漂移； 敏感元件； 杂质浓度； 力学量； 恒流源；
  • 【文献出处】 电子技术应用 ,Application of Electronic Technique , 编辑部邮箱 ,1975年05期
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