【作者】 丁成玉； 段素芳；
【机构】 七七一所； 七七一所；
【摘要】 多晶硅有着半导体材料的基本性质和一些独特性质。引起了人们的注意,认为是一个值得注意的方向。我们研究了用SiCl4制造多晶硅的方法,发现在减压和等离子体辉光放电的情况下,由于分子自由路程的增加,可以降低反应活化能,因而降低了反应温度。由于SiCl4比硅烷易得,这是个降低成本的方法。更多还原
