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薄膜涂层弹性模量的表征与评价研究  
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【英文篇名】 Characterization and Evaluation of Elastic Modulus of Film Coatings
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【作者】 唐达培; 高庆;
【英文作者】 Tang Dapei; Gao Qing (Department of Applied Mechanics and Engineering; Southwest Jiaotong University; Chengdu 610031);
【作者单位】 西南交通大学应用力学与工程系; 西南交通大学应用力学与工程系 成都;
【文献出处】 机械科学与技术 , Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering, 编辑部邮箱 2007年 05期  
期刊荣誉:中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  CJFD收录刊
【中文关键词】 薄膜; 弹性模量; 表征方法;
【英文关键词】 film; elastic modulus; characterization method;
【摘要】 因薄膜有其极小的厚度和特殊的微结构等特征,它与相同成分的块体材料相比,二者的弹性模量在数值大小、测试设备、表征方法和技术上都有一定的差异。给出了超声波测速法、弯曲法、鼓膜法和纳米压入法等六种适合于表征薄膜弹性模量的方法,研究了它们的原理和理论模型,分析和讨论了它们的特点和适用性,解释了用不同表征方法得出的弹性模量在数值上存在差异的原因。在实际测量中,应结合各表征方法和薄膜自身的特点加以灵活选用。
【英文摘要】 Since film has small thickness and peculiar microstructure,its numeric value,testing technology and characterization method in terms of elastic modulus differ to some degree from the bulk material of the same kind.This paper presented six methods for characterizing its elastic modulus and studied their principles and theoretical models,features and applications.Moreover it explained the reasons for differences in numeric values of elastic modulus characterized by different methods.The characterization metho...
【基金】 西南交通大学科学研究基金项目资助
【更新日期】 2007-07-03
【分类号】 TB43
【正文快照】 薄膜材料在微电子技术、微电子机械系统及表面防护(如提高耐磨性、抗腐蚀性和抗氧化性)等方面有广阔的应用前景,其力学性能对膜基系统(薄膜+基材)的力学完整性及服役行为影响很大。弹性模量是薄膜力学性能中最基本和最重要的参量,特别是发现某些薄膜材料(如纳米多层膜和超薄膜)

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