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【英文篇名】 |
Research on Improvement of Sensitivity Characteristics of Doped-SnO_2 Formaldehyde Gas Sensor |
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【下载频次】 |
★★★★★ |
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【作者】 |
王兢;
包化成;
姚朋军;
吴娜; |
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【英文作者】 |
WANG Jing;
BAO Hua-cheng;
YAO Peng-jun;
WU Na (School of Electron and Information Engineering;
Dalian University of Technology;
Dalian 116023;
China); |
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【作者单位】 |
大连理工大学中电信学院;
大连理工大学中电信学院 大连; |
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【文献出处】 |
微纳电子技术
, Micronanoelectronic Technology, 编辑部邮箱
2007年 Z1期
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊 |
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【中文关键词】 |
气敏元件;
甲醛;
灵敏度;
掺杂; |
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【英文关键词】 |
gas sensor;
formaldehyde;
sensitivity;
doping; |
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【摘要】 |
用纳米SnO2制作了旁热式气敏元件。用掺杂方法提高SnO2甲醛气敏元件的灵敏度,掺杂剂包括Pd,Sb,Ti,Zr,Cu,Ag,Mn等。在SnO2气敏元件中分别掺杂质量分数2%Pd和2%Zr对提高元件灵敏度有显著效果。未掺杂SnO2、掺杂质量分数2%Pd和2%Zr的气敏元件对体积分数为5×10-5甲醛的灵敏度分别为1.33,2.38,2.08,但是掺杂在改善元件对乙醇的选择性方面作用不大。分析了掺杂改善SnO2气敏元件灵敏度的原理,当SnO2表面吸附还原性气体时,吸附气体提供电子,使半导体表层的导电电子数增加,引起电导率增加、电阻下降。吸附气体浓度越高,电阻率变化越大,元件灵敏度越大。 |
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【英文摘要】 |
Indirect-heat formaldehyde gas sensors were made of undoped nano-SnO2,and doped Pd,Sb,Ti,Zr,Cu,Ag and Mn into SnO2 respectively for improvement the sensitivity.The sensitivities of 2% Pd and 2% Zr-doped SnO2 sensors are much higher than that of undoped sensor.The sensitivities of undoped,2% Pd and 2% Zr-doped SnO2 sensors on 5×105 formaldehyde are 1.33,2.38 and 2.08 respectively.The selectivity of the sensors to ethanol can not be proved by doping.The mechanism of doped-SnO2 sensor was analyzed.Electrons ar... |
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【基金】 |
国家自然科学基金资助项目(60474052) |
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【更新日期】 |
2007-09-30 |
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【分类号】 |
TP212 |
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【正文快照】 |
1引言建筑材料、装修材料、家具、地毯等其中的挥发性有机气体,对人体健康有很大危害,其中甲醛是一种重要的化工材料和有机溶剂,也是有害气体,不仅强烈地刺激人的眼睛和鼻子,而且是致癌物。如何检测和控制室内甲醛污染是近年来备受重视的研究课题[1-2],世界卫生组织和我国有关? |
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