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纳米定位机构及其控制系统的研究

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【英文篇名】	A Study on Nanopositioning Mechanism and Its Control System
【下载频次】	★★★★★
【作者】	王建林;
【英文作者】	WANG Jian-lin (School of Information; Beijing University of Chemical Technology; Beijing 100029; China);
【作者单位】	北京化工大学信息学院;
【文献出处】	机械设计与研究 , Machine Design and Research, 编辑部邮箱 2001年 02期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊
【中文关键词】	纳米定位机构; 柔性铰链; 压电陶瓷; 数字闭环控制系统;
【英文关键词】	nanopositioning mechanism; flexure hinge; piezoelectric ceramic PZT; digital colsed-loop control system;
【摘要】	在纳米科学与技术领域 ,纳米定位技术是纳米测量和原子操作工程研究及走向产业化的前提条件和工作基础。本文设计了一种新颖的以柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为驱动器的纳米定位机构 ,给出了其动力学模型 ,结合纳米传感器微位移检测装置和微机控制系统设计并研制了数字闭环控制的纳米定位系统。实验表明 :该纳米定位系统行程 10 μm ,定位精度优于± 0 .0 3μm ,定位分辨力 3nm ,最大定位时间 40ms。
【英文摘要】	In nanotechnology, nanowitlorung technology is the precondition and working foundation for the nanomeasurement and research of atom manipulation and its industrialization. A novel nanopeitioning mechanism on the basis of flexure hinge and piezoelectric actuator is designed in this paper, and its kinetic model is given, and furthermore the digital olosed-loop control system combined with nanosensor and computer control system is developed. The experiment shows that the positioning accuracy of the nanopositio...
【分类号】	TH703
【正文快照】	随着科学技术的发展 ,在诸多领域迫切需要纳米定位技术。纳米定位技术已成为诸多前沿科学、工程技术领域的关键技术之一。在目前蓬勃发展的纳米科学与技术领域 ,扫描探针显微技术是实现纳米测量和纳米加工的主要技术 ,ＳＰＭ(ＳｃａｎｎｉｎｇＰｒｏｂｅＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙ)?

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