微系统科技的发展及电化学的新应用-中国学术期刊网络出版总库

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微系统科技的发展及电化学的新应用

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【英文篇名】	The Development of Microsystems and New Applications of Electrochemistry
【下载频次】	★★★★★
【作者】	田昭武; 林华水; 孙建军; 周勇亮; 祖延斌; 田中群; 罗瑾; 林仲华; 谢兆雄; 胡维玲; 胡涌刚; 苏文煅;
【英文作者】	TIAN Zhao wu ; LIN Hua_shui; SUN Jian_jun; ZHOU Yong_liang; ZU Yan_bin; TIAN Zhong_qun; LUO Jin; LIN Zhong_hua; XIE Zhao_xiong; HU Wei_ling; HU Yong_gan; SU Wen duan (State Key Lab. for Phys. Chem. of Solid Surface; Dept. Chem. Xiamen Univ.; Xi;
【作者单位】	厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室;
【文献出处】	电化学 , Electrochemistry, 编辑部邮箱 2001年 01期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊
【中文关键词】	微系统; CEET; 电渗; μ-TAS; 芯片上实验室;
【英文关键词】	Microsystem; CELT; Electro-osmosis; μTAS; Lab on A Chip;
【摘要】	本文根据田昭武在中国化学会第一届全国纳米技术与应用会议 (2 0 0 0 .11.2 8,厦门 )特邀大会报告内容整理而成 :1　微系统技术概述 (技术的必要性和前景 )2　发展微系统技术的特殊困难3　电化学在微系统技术中的应用　 3.1　用于复杂 3D 图形微加工的约束刻蚀剂层技术 (CELT)　 3.2　聚焦电泳和微系统在 (生物 )化学中的应用 (μ TAS或芯片上实验室 )　 3.3　芯片实验室中微流体输运网络的合理选择之一 -灵巧 (Smart)电渗泵4　结论
【英文摘要】	Brief introduction to microsystems 2 Discussions on the developments of microsystem technologies 3 Applications of electrochemistry in microsystem 3.1 Confined Etchant Layer Technique (CELT) for the complex 3D-pattern micromachining 3.2 Focusing Electrophoresis and the application of microsystem in (bio) chemistry (μTAS or Lab on A Chip) 3.3 Smart Electro-Osmosis pump——a reasonable choosing for microfluidic network 4 Concluding remark
【基金】	国家自然科学基金委多年来对本文各研究项目的资助支持!基金项目批准号 :2 92 330 70 (重点项目 ; 1 993) ;2 93830 0 4( 1 994) ;5 96 0
【分类号】	O646
【正文快照】	1　微系统科学技术的必要性和前景近半世纪以来 ,微电子技术进步已推动了信息产业的迅猛发展 ,从而导致人类社会生活巨大变革 .进步的特征表现为器件大幅度减小 (资源能源节约 ,适应微小空间 ,低成本 ,高产出 ,市场巨大 ,环境污染降低等等 )而性能提高 (信息质量提高 ,信息处理

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