MEMS光开关-中国学术期刊网络出版总库

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MEMS光开关

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【英文篇名】	Fabrication of MEMS Optical Switches
【下载频次】	★★★★★
【作者】	梁春广; 徐永青; 杨拥军;
【英文作者】	LIANG Chun guang; XU Yong qing and YANG Yong jun(The Electronic 13th Institute of Information Industry Ministry; Shijiazhuang 050051; China);
【作者单位】	信息产业部电子第十三研究所; 信息产业部电子第十三研究所石家庄;
【文献出处】	半导体学报 , Chinese Journal of Semiconductors, 编辑部邮箱 2001年 12期期刊荣誉：ASPT来源刊中国期刊方阵 CJFD收录刊
【中文关键词】	微机械; 光开关; 硅-玻璃键合;
【英文关键词】	MEMS; optical switching; silicon on glass bonding;
【摘要】	采用 MEMS体硅工艺 ,制作了三种结构的微机械光开关 :水平驱动 2 D(二维 )光开关、垂直驱动 2 D光开关和扭摆驱动 2 D、3D(三维 )光开关 .水平驱动光开关采用单层体硅结构 ,另外两种光开关都采用了硅 -玻璃的键合结构 .它们的工作原理都基于硅数字微镜技术 .这三种光开关均采用了静电力驱动 ,具有较低的驱动电压 ,其中扭摆式光开关的驱动电压小于 15 V.对于 2 D开关阵列 ,在硅基上制作了光纤自对准耦合槽 .对后两种光开关的开关特性进行了计算机模拟与分析 ,结果表明这两种光开关具有小于 1ms的开关时间
【英文摘要】	Three kinds of MEMS optical switches with different mechanical structures are produced by the bulk micromachining processes.The first is 2D optical switch with horizontal actuator,the second is 2D optical switch with vertical actuator,and the third is 2D?3D optical switch with wiggly actuator.The first is formed with monolayer bulk silicon structure,the others use the silicon on glass bonding structures.Their principles of operation are all based on silicon digital micromirrors technology.The electrosta...
【基金】	国家八六三光电子主题、国家集成光电子联合重点实验室资助项目~~
【分类号】	TN253
【正文快照】	1　引言2 0世纪 90年代以来 ,光通信得到了快速的发展 ,作为光通信中关键环节的光互连与光开关的地位也越来越重要 ,传统的以电为核心的开关已不能满足高速大容量光通信的需求 ,尤其是全光传输网 ,而将代之以全光开关 .全光开关是以光为核心实现光的通断和交叉连接的系统部件 ,

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