微机械薄膜变形镜光学影响函数矩阵的测试与研究-中国学术期刊网络出版总库

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微机械薄膜变形镜光学影响函数矩阵的测试与研究

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【英文篇名】	Measurement and Study for Optical Influence Function Matrix of Micromachined Membrane Deformable Mirrors
【下载频次】	★★★★
【作者】	陈珂; 赵达尊; 俞信;
【英文作者】	Chen Ke; Zhao Dazun; Yu Xin (Dep. of Optical Engineering; Beijing Institute of Technology; Beijing 100081);
【作者单位】	北京理工大学光电工程系;
【文献出处】	高技术通讯 , HIGH TECHNOLOGY LETTERS, 编辑部邮箱 2000年 09期期刊荣誉：ASPT来源刊 CJFD收录刊
【中文关键词】	自适应光学; 微机械薄膜变形镜; 光学影响函数;
【英文关键词】	Adaptive optics; Micromachined membrane deformable mirror; Optical influence function;
【摘要】	介绍了微机械薄膜变形镜光学影响函数的理论表达式以及其具有的线性叠加性。对OKO公司的 37通道微机械薄膜变形镜进行了实际测量 ,得到了光学影响函数矩阵 ,方便了变形镜的实际使用。实验结果验证了理论推导的正确性。
【英文摘要】	The mathematical expressions of the optical influence functions for micromachined membrane deformable mirror and their superposition nature are introduced. Then optical influence function matrix is derived experimentally for a 37 channel micromachined membrane deformable mirror made by OKO Co., Ltd. Experimental results have proved the theoretical analysis.
【基金】	863计划资助项目!( 863 3 0 8 15 4)
【分类号】	TH74
【正文快照】	0　引言变形镜作为一种常用的波前校正器在自适应光学系统[1] 中以及空间无线天线[2 ] 中都是必不可少的重要部件。早在 1977年 ,Ｇｒｏｓｓｏ和Ｙｅｌｌｉｎ[3] 就研制成功了通过离散电极控制的薄膜变形镜。近年来 ,由于甚大规模集成技术 (ＶＬＳＩ)和微加工技术的发展 ,使微?

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