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准分子激光器的新应用
 
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【下载频次】
★★★★★
【作者】
王广昌
;
【文献出处】
光电子技术与信息
,
Optoelectronic Technology & Information
,
编辑部邮箱
1999年 01期
期刊荣誉:ASPT来源刊 CJFD收录刊
【摘要】
<正> 从80年代初以来,准分子激光器提供的高功率、短波长紫外脉冲一直应用于科学、医学和工业部门.尽管使用强腐蚀性的卤素气体,但现在准分子激光器坚固耐用,能够满足各种工业应用的需要.到90年代,在光刻和材料加工方面,准分子激光器越来越重要.同时,新的应用不断增长:用倍频方法
【分类号】
TN248
【正文快照】
从SO年代初以来,准分子激光器提供的 就成为极佳的激光介质.准分子不存在基高功率、短波长紫外脉冲一直应用于科学、态,一旦产生应成为布居反转.当跃迁到基医学和工业部门.尽管使用强腐蚀性的卤素 态或非束缚态,过程通常是放能的,准分子气体,但现在准分子激光器坚固耐用,能够 ?
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