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微机械气流式全方位水平姿态传感器气体摆特性的三维有限元分析  
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【会议录名称】 中国电子学会第十五届电子元件学术年会论文集 , 2008 年
Proceedings of 15th National Conference on Electronic Components
【作者】 宋佳; 朴林华; 刘玉洁; 李言杰; 张福学;
【作者单位】 北京信息工程学院; 北京市传感器重点实验室;
【会议名称】 中国电子学会第十五届电子元件学术年会
【英文会议名称】 15th National Conference on Electronic Components
【会议地点】 中国北京
【主办单位】 中国电子学会元件分会、中国电子元件行业协会、IEEE北京分会CPMT专业委员会、IEEE北京分会UFFC专业委员会
【学会名称】 中国电子学会元件分会
【关键词】 有限元分析; 气体摆; 全方位; 对流场; 温度场;
【论文摘要】 采用有限元方法,解释了微机械气流式全方位水平姿态传感器的气体摆特性。通过建立敏感元件的三维模型。计算了在不同倾斜状态下敏感元件中的对流场和温度场。结果表明:(1)敏感元件内自然对流气体具有摆的特性.(2)敏感元件中的温度场呈羽状分布。(3)当敏感元件倾斜时,热源周围两两相对的检测热敏电阻处的温度不相等,而且两者温度之差随着倾斜角度的变化而改变。该传感器利用这一特性敏感任一方位的倾斜角度。
【基金】 国家自然科学基金委员会(60772012); 北京市教委面上项目(KM0071 0772 009); 北京市优秀人才培养、北京市传感器重点实验室和北京市属市管高校人才强教计划项目资助
【更新日期】 2009-06-01

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