掺杂改善SnO_2甲醛气敏元件灵敏度特性的研究-中国重要会议论文全文数据库

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掺杂改善SnO_2甲醛气敏元件灵敏度特性的研究

【会议录名称】	第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集 , 2007 年
【作者】	王兢; 包化成; 姚朋军; 吴娜;
【英文论文作者】	WANG Jing BAO Hua-cheng YAO Peng-jun WU Na (School of Electron and Information Engineering; Dalian University of Technology; Dalian 116023; China);
【作者单位】	大连理工大学中电信学院;
【会议名称】	第十届全国敏感元件与传感器学术会议
【会议地点】	中国北京
【主办单位】	全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会
【学会名称】	中国航空学会
【关键词】	气敏元件; 甲醛; 灵敏度; 掺杂;
【英文论文关键词】	gas sensor; formaldehyde; sensitivity; doping;
【论文摘要】	用纳米 SnO_2制作了旁热式气敏元件。用掺杂方法提高 SnO_2甲醛气敏元件的灵敏度,掺杂剂包括 Pd,Sb,Ti,Zr,Cu,Ag,Mn 等。在 SnO_2气敏元件中分别掺杂质量分数2%Pd 和2%Zr 对提高元件灵敏度有显著效果。未掺杂 SnO_2、掺杂质量分数2%Pd 和2%Zr 的气敏元件对体积分数为5×10~(-5)甲醛的灵敏度分别为1．33,2．38,2．08,但是掺杂在改善元件对乙醇的选择性方面作用不大。分析了掺杂改善 SnO_2气敏元件灵敏度的原理,当 SnO_2表面吸附还原性气体时,吸附气体提供电子,使半导体表层的导电电子数增加,引起电导率增加、电阻下降。吸附气体浓度越高,电阻率变化越大,元件灵敏度越大。
【英文论文摘要】	Indirect-heat formaldehyde gas sensors were made of undoped nano-SnO_2,and doped Pd,Sb,Ti,Zr,Cu,Ag and Mn into SnO_2 respectively for improvement the sensitivity.The sen- sitivities of 2% Pd and 2% Zr-doped SnO_2 sensors are much higher than that of undoped sensor. The sensitivities of undoped,2% Pd and 2% Zr-doped SnO_2 sensors on 5×10~(-5) formaldehyde are 1.33,2.38 and 2.08 respectively.The selectivity of the sensors to ethanol can not be proved by doping.The mechanism of doped-SnO_2 sensor was analyzed....
【基金】	国家自然科学基金(60474052)
【更新日期】	2008-01-15

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