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薄膜体声波谐振器的分析与设计  
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【作者】 莫绍孟;
【导师】 赵建军;
【学位授予单位】 昆明理工大学;
【学科专业名称】 物理电子学
【学位年度】 2009
【论文级别】 硕士
【网络出版投稿人】 昆明理工大学
【网络出版投稿时间】 2011-04-18
【关键词】 氮化铝; 薄膜体声波谐振器; 滤波器; Mason等效模型; BVD模型;
【英文关键词】 AlN; FBAR; filter; Mason model; BVD model;
【中文摘要】 近年来,随着个人通信,卫星通信,以及其它各种形式的无线通信系统的迅猛发展,其工作频率不断向中高频扩展,使得频率选择控制成为射频前端的关键问题,薄膜体声波谐振器(FBAR)作为目前唯一有望集成的射频滤波器技术,有着比传统介质滤波器和声表面波(SAW)滤波器更小的体积,更高的工作频率,高Q值,插入损耗低,带外抑制大,低温度系数与半导体技术工艺兼容等优点,有望成为射频前端频率选择器件的最佳解决方案。正成为国内外研究的热点。 本文将在以下几个方面进行研究: (1)首先系统的对FBAR的基本原理和结构,FBAR所用的材料和制备方法进行系统的论述。 (2)从基本的声学、压电学、电磁学和弹性力学理论出发,推导出理想FBAR阻抗解析模型,并在此基础上进一步获得了复合型FBAR的输入阻抗解析表达式。 (3)基于FBAR的输入阻抗表达式,详细探讨了各层材料尺寸参数对FBAR的性能的影响,从而为后续的FBAR的尺寸微调工作打下基础。同时,由于在FBAR的输入阻抗谱中有几十到几百个谐振模式,选择出某个具有最大有效机电耦合系数的谐振模式,对该模式下的性能参数进行了详细探讨,从而作为后续滤波器设计的指导依...
【英文摘要】 Recently, the enormous growth in personal communications systems (PCS), satellite communication and various other forms of wireless data communication has made analogue frequency control a key issue with operation frequency increasing to the low/medium GHz range. As the only technology that can be integrated with RFIC and MMIC, FBAR (Film Bulk Acoustic Resonator) is promised to be the best solution among many front-end frequency selection choices, which has much smaller volume, higher working frequency, qua...
【更新日期】 2011-07-08

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