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显微-CCD-微机系统微小物体二维尺寸自动测试  
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【英文题名】 Automatic Test of 2D Size for Micro-Object by Microlens-CCD-Computer System
【作者】 刘东月;
【导师】 王文生;
【学位授予单位】 长春理工大学;
【学科专业名称】 光学工程
【学位年度】 2008
【论文级别】 硕士
【网络出版投稿人】 长春理工大学
【网络出版投稿时间】 2008-12-17
【关键词】 显微物镜CCD相机; 数字图像处理; 高精度; 非接触; 自动; 微小物体;
【英文关键词】 microscope CCD camera; digital image processing; high accuracy; non-contact; automatic; micro-object;
【中文摘要】 随着激光加工技术、微机械等的发展,对微小物体的非接触、高精度、自动测试的要求在不断提高。本文研制了一种测量微小物体尺寸的显微-CCD-微机系统,编写了测试程序。 系统的硬件部分主要由二维可移动平台、显微物镜、CCD相机、反射棱镜,图像采集卡和微机组成。并通过Visual C++程序完成了对微小物体二维尺寸的高精度,非接触,自动地检测。显微物镜作为成像系统,CCD相机作为接收器件放在显微物镜的像面上,这样被放大的工件就可以清晰的成像在CCD接收面上。图像经采集卡将模拟信号转换为数字信号输入到微机中用Visual C++程序进行处理。 作为实例,我们为测量了一个玻璃微珠的球度和一个矩形工件的尺寸,测量结果和尺寸偏差自动地在计算机的监视器上显示出来,测量误差小于3μm。
【英文摘要】 With the development of laser process technology and micro-machinery, the requirement of high accuracy, non-contact testing for micro-object is increasing. In this paper, A Microlens-CCD-Computer system was developed which can test the size of micro-object with high curacy, non-contact, automatic and compiled testing program. The hardware of this system is composed of 2D movable stage, microscope, CCD camera, reflector prism, Frame Grabber Board and computer. Digital image processing is implemen...
【更新日期】 2009-01-09

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