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HFCVD制备非晶碳薄膜及其润湿性的研究  
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【英文题名】 Studies on Preparation by HFCVD and Wettability of Amorphous Carbon Films
【作者】 曹伟;
【导师】 严辉; 王波;
【学位授予单位】 北京工业大学;
【学科专业名称】 材料物理与化学
【学位年度】 2007
【论文级别】 硕士
【网络出版投稿人】 北京工业大学
【网络出版投稿时间】 2007-11-12
【关键词】 HFCVD; 非晶碳薄膜; 润湿性能; 超疏水; 表面形貌;
【英文关键词】 HFCVD; amorphous carbon films; Wettability; superhydrophobic; surface morphology;
【中文摘要】 润湿性能是固体表面的重要特征之一,无论在人们的日常生活还是在工农业生产中它都发挥着重要的作用,如防雪﹑防污染﹑抗氧化和防止电流传导等,具有特殊润湿性能的材料一直是人们关注的热点。作为一种经济适用并且环境友好的光电器件材料,非晶碳薄膜因其众多优良的特性而引起广泛研究兴趣。因此,辅之以特殊的润湿性能,非晶碳薄膜必将发挥更大的优势。本文采用热丝辅助化学气象沉积系统(HFCVD),通过改变沉积工艺参数来控制非晶碳薄膜的生长,在单晶硅衬底上制备了不同厚度的薄膜和具有不同微观形貌的表面,系统地研究了各制备参数对非晶碳薄膜的沉积速率、表面形貌及润湿性能的影响。本文主要的研究工作如下: 1.通过改变工艺参数制备了具有不同厚度的非晶碳薄膜,发现随着衬底温度、工作气压和CH4的浓度的增加其沉积速率单调递增,尤其是衬底温度,对其沉积速率影响最大。 2.通过改变工艺参数制备了具有不同表面微观形貌的非晶碳薄膜,发现气体流量组成和工作气压对其表面形貌的影响不大,而衬底温度对其表面形貌影响却非常大,能从光滑平坦变到具有丰富的孔隙和极其精细的皱褶的复杂结构,非常类似于自然界中荷叶的表面...
【英文摘要】 The wettability of solid surfaces is a very important property. The solid material which has special wettability has attracted much interest because it will play an important role on our daily life as well as in many industrial and agricultural processes, for example, preventing snow, depollution, antioxidation and preventing electric current conduction. As an environmentally benign and economically viable optoelectronic device material, amorphous carbon(a-C)films are paid too much attention for ...
【更新日期】 2007-12-05

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