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MEMS器件综合技术的研究  
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【英文题名】 Study on of MEMS Devices Synthesis
【作者】 周鹏;
【导师】 李伟华;
【学位授予单位】 东南大学;
【学科专业名称】 微电子学与固体电子学
【学位年度】 2005
【论文级别】 硕士
【网络出版投稿人】 东南大学
【网络出版投稿时间】 2007-06-11
【基金】 国家高技术研究发展计划(863计划)
【关键词】 MEMS; 器件综合; 逻辑综合; 系统综合; 规范尺寸;
【英文关键词】 MEMS; Devices Synthesis; Logic Synthesis; System Synthesis; Canonical Size;
【中文摘要】 随着微电子机械系统技术的飞速发展,由于MEMS器件在国防和民用领域有着广泛的应用前景,MEMS研究已成为世界上发达国家高科技发展的重点方向之一。近年来我国政府对MEMS研究非常重视,在政府的资助和高校、科研机构的共同努力下,我国的MEMS器件研究工作已取得了很大的进展,但是与国外相比仍存在较大差距,在MEMS器件的工艺模拟和器件CAD设计方面还很落后。特别是在MEMS器件的结构设计上对国外器件的盲目模仿使我们不能全面地掌握器件设计和优化方法。阻碍了我国MEMS器件研制水平的进一步提高。 本文正是从器件综合及优化方法进行入手,在当前有限的技术条件下,提出规范尺寸的概念来简化设计,建立了MEMS器件综合优化方法及流程。MEMS综合的实现可以缩短MEMS设计周期,实现MEMS器件的虚拟设计与制造,而MEMS综合的最高目标即是要实现MEMS系统的综合。 论文首先研究VLSI中的数字逻辑综合,为MEMS综合的研究做指引,再对MEMS综合的概念、过程与方法进行了简要分析概述,分析对比MEMS综合与VLSI中的逻辑综合之间的相同及区别。分析国外的研究...
【英文摘要】 With the development at full speed of the technology of microelectromechanical systems, because MEMS device has extensive application prospects in the national defence and civil field, MEMS studies and already becomes one of the key directions of development in Hi-Tech of developed country in the world. Our government pays much attention to on MEMS in recent years, under the joint efforts of subsidizing the government and the university , scientific research institution, MEMS device research wo...
【更新日期】 2007-07-05

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导师：李伟华    导师单位：东南大学    学位授予单位：东南大学
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