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SnO_2甲醛气体传感器性能改善  
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【英文题名】 Performance Improvement of SnO_2 Formaldehyde Gas Sensor
【作者】 包化成;
【导师】 王兢;
【学位授予单位】 大连理工大学;
【学科专业名称】 电路与系统
【学位年度】 2006
【论文级别】 硕士
【网络出版投稿人】 大连理工大学
【网络出版投稿时间】 2007-01-17
【基金】 国家自然科学基金
【关键词】 SnO_2气体传感器; 甲醛; 掺杂; B-P神经网络; 无线收发电路;
【英文关键词】 SnO_2 Gas Sensor; Formaldehyde; Adulterant; B-P Neural Network; Wireless Sending and Receiving Circuit;
【中文摘要】 随着科技的进步及社会的发展，人们越来越关注室内空气污染对健康的影响情况，尤其是甲醛等VOC气体对健康带来的危害已经引起广泛的重视。对甲醛、甲苯等有毒有害气体的低浓度检测也成为当今科学界的重要课题之一。本论文介绍了一种以SnO_2为基材的旁热式甲醛气敏传感器，并尝试改善元件的灵敏度和选择性。 介绍掺杂不同金属氧化物和未掺杂的SnO_2气敏传感器的制作过程，并对其基本的气敏特性进行了测试和比较。未掺杂SnO_2气敏元件对甲醛的灵敏度在加热电压为4V时达到极大值，而掺杂后的元件在加热电压为3.5V时对甲醛的灵敏度达到最佳。掺杂后的气敏元件对甲醛气体的灵敏度有了较大提高，根据测试曲线排列出不同掺杂元素对SnO_2气敏元件灵敏度影响的高低顺序为：Pd＞Zr＞Ti＞Sb＞Cu＞Ag＞Mn，而掺杂有Pd和Zr的SnO_2元件对50ppm甲醛的灵敏度大于50，效果较为理想。 目前掺杂的几种金属都无法提高元件的选择性，因此采用改进型B-P神经网络的方法来改善气敏元件的选择性。改进后的B-P网络为3层网络，输入层6个结点，隐形层8个结点，输出层2个结点，并且可以在线...
【英文摘要】 In this paper, a kind of indirect-heating formaldehyde gas sensor based on SnO_2 is introduced, and we try to improve the performance of this gas sensor, such as sensitivity, selectivity and so on. The fabricating processes of SnO_2 gas sensors without and with different dopants were described in this paper. Their basic gas sensing characteristics were tested. The sensitivity reached its max value when heating voltage was 4V for the undoped SnO_2 gas sensor, but it decreased to 3.5V for some dope...
【更新日期】 2007-02-02

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