【英文题名】
Study of the Gas Sensor of Phthalocyanine Oganic Semiconductor
【作者】
李月 ;
【导师】
殷景华 ;
【学位授予单位】
哈尔滨理工大学 ;
【学科专业名称】
材料物理与化学
【学位年度】
2006
【论文级别】
硕士
【网络出版投稿人】
哈尔滨理工大学
【网络出版投稿时间】
2006-12-12
【关键词】
酞菁 ;
叉指电极 ;
灵敏度 ;
真空镀膜 ;
【英文关键词】
Phthalocyanine ;
sensitivity ;
vacuum plating ;
fork electrode ;
【中文摘要】
随着现代工业、发电、汽车等行业的发展,各种燃料的燃烧和大量化工厂建造,向空气中排放大量有毒性气体,其危害性十分巨大。因此,快速、准确地检测、控制低浓度有毒性气体排放是急需解决的问题,研究探测大气环境NO2,Cl2传感器有重要意义。
目前气体传感器存在着方法复杂、成本高、精度低等问题。而有机半导体由于它的材料丰富、成本低、制膜工艺简单、易于与其它技术兼容、在常温下工作等优点,已成为研究的热点。有机材料半导体和薄膜技术的发展,为研制新型气敏传感器提供了有利保证。
本课题以酞菁类化合物为主要合成材料,通过质谱和能谱分析鉴定合成方法正确性;对酞菁材料合理杂化,得到较理想的电导率;采用微精细加工工艺制备平面叉指电极;采用真空镀膜、涂膜和拉膜等薄膜制备技术,在叉指电极上形成敏感膜,扫描电子显微(SEM)形貌分析表明,薄膜颗粒尺寸均匀。不同方法制备的薄膜显微形貌也有较大的差异。采用真空镀膜、拉膜和涂膜技术制备气敏薄膜;真空镀膜稳定性比涂膜好,涂膜的响应、导电性比真空镀膜好。酞菁化合物的掺杂后,其导电性有明显的改善,通过真空镀膜电阻能降到109?以下,...
【英文摘要】
With the developing of modern industry, electricity generating industry and automobile trade, the combustion of various fuels and the construction of chemical plants emit a lot of toxic gases into the air. So it is urgent to solve the problem that how to test and control the low concentration toxic gases, and the study on the sensor of monitoring Cl2 gas in the atmosphere is significant.
Now gas sensor is being studied on inorganic semiconductor, electrochemistry and so on, but ther...
【更新日期】
2007-01-10
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