近年来,微机电系统(MEMS)研究得到了迅猛的发展,用于射频通信领域中的MEMS技术,即RF-MEMS (Radio Frequency Micro-electro-mechanical System)技术蕴藏着巨大的市场潜力,已经成为研究的热点,受到学术界和政府部门的高度重视。采用微机械技术研制的RF-MEMS微机械滤波器是RF-MEMS系统的关键器件之一,它不但具有体积小、重量轻、性能稳定等优点外,还能和其他电路元件集成在一起。
本文在分析了国内外RF-MEMS滤波器研究现状的基础上,根据微机械滤波器的工作原理,提出器件的力学分析模型,设计一种频率为70MHz的微机械滤波器。本文通过分析欧拉-贝努立方程,得出滤波器的共振频率主要由谐振梁的密度、厚度和长度决定,考虑切变形和转动惯量的情况下,完成微机械谐振梁、支撑梁、驱动电容的设计;在CoventorWare软件上进行仿真,分析结果与理论设计比较好地吻合;对微机械滤波器的加工工艺进行设计,给出器件的完整的工艺流程,重点介绍微机械表面加工工艺,并在CoventorWare上进行仿真。最后对微机械滤波器进行展望。...
【英文摘要】
In recent years, Micro-electro-mechanical System (MEMS) has been developed drastically. MEMS technology applied in radio frequency communication field, which is known as RF-MEMS (Radio Frequency Micro-electro-mechanical System), has great potentials. RF-MEMS research has become very important in application of radio frequency, and drawn attention of academy and governments greatly. Microelectromechanical filter, one of the key devices in RF-MEMS, has small size, light weight, stable quality and...
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