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不同衬底上用PLD法制备LaSrCoO_3薄膜及薄膜性质研究  
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【作者】 彭巨擘;
【导师】 张鹏翔;
【学位授予单位】 昆明理工大学;
【学科专业名称】 材料物理化学
【学位年度】 2005
【论文级别】 硕士
【网络出版投稿人】 昆明理工大学
【网络出版投稿时间】 2005-10-17
【基金】 国家重点基础研究发展计划(973计划)
【关键词】 La_0.5Sr_0.5CoO_3; 薄膜; PLD; Si; SiO_2/Si; Pt/Ti/SiO_2/Si; LaAlO_3; 电阻率; XRD; 表面形貌; LITV;
【英文关键词】 La_0.5Sr_0.5CoO_3; film; PLD; Si; SiO_2/Si; Pt/Ti/SiO_2/Si; resistivity; XRD; surface morphology; LITV;
【中文摘要】 La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3(LSCO)因具有高电子和离子传导性,已被应用于燃料电池、气体传感器及铁电存储器的电极材料等方面。LSCO由于具有与Pb基钙钛矿型铁电体相匹配的伪立方钙钛矿晶体结构,用其作为Pb(Zr,Ti)O_3,(P_b,La)(Zr,Ti)O_3的电极,能有效改善铁电存储单元的疲劳特性。本论文主要围绕LSCO薄膜的制备、电极应用和激光感生热电电压(Laser Induced Thermoelectric Voltage,简称LITV)效应展开。在四种衬底[Si,SiO_2/Si,Pt/Ti/SiO_2/Si,LaAlO_3(LAO)]上用脉冲激光沉积法(Pulse Laser Deposition,简称PLD)制备LSCO薄膜,研究了薄膜生长条件、薄膜结构、表面形貌及电阻率。通过改进薄膜制备工艺消除了薄膜表面裂纹及很大程度上减少了大颗粒,制备出了高质量的LSCO薄膜。在倾斜LaAlO_3(LAO)衬底上制备的LSCO薄膜上首次发现了激光感生热电电压。 主要结果如下: 1.在LAO倾斜衬底上制备的La_(0.5)Sr_(0....
【英文摘要】 La_0.5Sr_0.5CoO_3 (LSCO) has being applied in fuel cells, gas sensors and as electrodes in ferroelectric memories due to its relatively high electronic and ionic conductivity. Since LSCO has a pseudo-cubic perovskite structure, excellent structural compatibility with Pb-based oxide perovskite ferroelectrics, LSCO has been used as the electrode in the Pb(Zr,Ti)O3,(Pb,La)(Zr,Ti)O3, which can improve the fatigue of ferroelectric memory cells. My work mainlyfocused on growth of LSCO film and application...
【更新日期】 2005-12-16

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