电解液微弧放电制备氮化铝陶瓷膜研究-中国学术期刊网络出版总库

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电解液微弧放电制备氮化铝陶瓷膜研究

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【英文篇名】	Preparation of aluminum nitride ceramic films by eletrolyte micro-arc discharge
【下载频次】	★★★★☆
【作者】	何翔; 郝英杰;
【英文作者】	HE Xiang; HAO Yingjie(Plasma Research Institute; South-Central University for Nationalities; Wuhan 430074; China);
【作者单位】	中南民族大学等离子体研究所;
【文献出处】	兵器材料科学与工程 , Ordnance Material Science and Engineering, 编辑部邮箱 2011年 05期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊
【中文关键词】	电解液; 微弧放电; 氮化铝; 表面分析;
【英文关键词】	electrolyte; micro-arc discharge; aluminum nitride; surface analysis;
【摘要】	用电解液等离子体微弧放电工艺,在纯铝基片上制备陶瓷改性层。选择CO(NH2)2电解液体系,添加(NaPO3)6辅助放电。用XRD分析不同CO(NH2)2浓度的电解液情况下改性层的物相结构,用XPS研究处理后样品表面的化学成分和结合能,用SEM观察了膜层表面形貌和厚度。结果表明,CO(NH2)2电解液体系中进行等离子体微弧放电,将在纯Al表面得到多晶AlN陶瓷膜改性层。
【英文摘要】	Ceramic films were obtained on commercial pure aluminum by plasma micro-arc discharge,adding in the(NaPO3)6 for assisting-discharge in the CO(NH2)2 electrolyte system.XRD was used to investigate phase compositions of the modified layers with different concentrations of CO(NH2)2.Chemical composition and binding energy of the treated sample surface were studied by XPS.SEM was employed to analyze the morphology and thickness of ceramic film.The results show that the polycrystalline-ceramic layers of AlN on the...
【基金】	武汉市重点科技攻关计划项目(200721023420)
【更新日期】	2011-10-28
【分类号】	TG174.44
【正文快照】	氮化铝(AlN)具有高的热导率、可靠的电绝缘性、低的介电常数和介电损耗、耐高温、耐蚀、无毒等优良的物理化学特性,是综合性能优异的新型陶瓷材料[1],受到国内外研究者的广泛重视。近年来,已有多种方法用于制备AlN陶瓷膜,如金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)、分子束外延(MBE)、

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