平面工艺SnO_2薄膜甲醛气敏元件的研究-中国学术期刊网络出版总库

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平面工艺SnO_2薄膜甲醛气敏元件的研究

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【英文篇名】	Study of SnO_2 Formaldehyde Gas Sensor Based on Plane Technology
【下载频次】	★★★★★
【作者】	张鹏; 王兢;
【英文作者】	ZHANG Peng; WANG Jing*(School of Electronic and Information Engineering; Dalian University of Technology; Dalian Liaoning 116023; China);
【作者单位】	大连理工大学电信学院;
【文献出处】	传感技术学报 , Chinese Journal of Sensors and Actuators, 编辑部邮箱 2009年 01期期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊
【中文关键词】	SnO2薄膜; 溶胶凝胶; 平面工艺; 气敏元件;
【英文关键词】	SnO2 films; sol-gel; plane technology; gas sensor;
【摘要】	用ANSYS仿真软件得到最优化的气体传感器电极结构,采用平面工艺在硅衬底上制作了3 mm×2 mm的直热式SnO2薄膜甲醛气敏元件。用溶胶凝胶(sol-gel)法制备了掺Pd的纳米SnO2薄膜,材料的平均粒径约为15 nm。元件的最佳工作温度约为230℃,在该加热温度下测试了元件对体积分数为50×10-9的甲醛气体的灵敏度以及响应恢复时间。实验证明:元件的灵敏度随气体浓度的增大而增大,元件的响应和恢复时间均约为50 s。
【英文摘要】	ANSYS software is used to optimize the electrode structure of a gas sensor.The gas sensor for formaldehyde measurement was fabricated using plane technology on 3 mm×2 mm silicon substrate.The sensing films of Pd-doped SnO2 were synthesized by sol-gel.The average grain size of SnO2 is about 15 nm.The best heating temperature was about 230℃.The sensitivity under different gas volume was measured in 230℃,and also,the response and recovery times were measured.The experiment showed that the sensitivity of the se...
【基金】	国家自然科学基金资助项目(60474052)
【更新日期】	2009-03-16
【分类号】	TP212.2
【正文快照】	甲醛(HCHO)是一种无色、易溶的刺激性气体,已被证实是一种致癌物,能强烈刺激粘膜,空气中只要有微量的甲醛存在,就会对人的眼、鼻产生刺激。人们长期生活在这种环境下,会对人体的呼吸系统以及中枢神经系统产生不良影响[1]。同时,甲醛也是一种重要的化工原料和有机溶剂,是制造油?

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